尼康是半导体设备领域的公认领导者,尤其是其先进的光刻系统。尼康 NSR-2005 I10C 光刻机代表了光刻技术的重大进步,专为高分辨率、高精度和高效的集成电路 (IC) 生产而设计。本文详细介绍了 NSR-2005 I10C,重点介绍了其规格、工作原理、应用、优势和维护。
技术规格
范围 | 细节 |
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模型 | 尼康 NSR-2005I10C I线光刻机 |
制造数据 | 1995 |
地点 | 日本 |
电源 | 用于 CVCF 的 NEMA BOX |
腔室类型 | 制造商 SENDAI (1995) S04 |
腔室尺寸 | 机身(1950毫米) |
计算机类型 | NEST3 |
惠普激光 | 5517B |
灯泡功率 | 1.75 kW |
LSA 激光 | 5mW/10mW |
标线显微镜 | 固定的 |
晶圆状况 | 硅 |
晶圆尺寸 | 目前配置为200mm |
卡盘类型 | Ring (特殊) |
OF 检测类型 | 尼康原创类型 |
晶圆装载机类型 | Type 1 |
晶圆类型 | 平坦的 |
晶圆载具台 | Right |
额外直列 | No |
标线尺寸 | 6 inch |
FIA/LIA | FLA (yes), LIA (no) |
光罩库类型 | Nikon |
主插槽 | (O) 插槽 /13 |
退出 LIB 插槽 | (O) 插槽 13 |
PPD/PD | PPD (no), PD (no) |
机架类型 | 正常(右) |
收缩型 | 1 |
设备概述
NSR-2005 I10C 用于集成电路生产的微光刻工艺。它以高分辨率和高精度将光掩模上形成的图案投射到晶圆表面上。
主要功能包括:
- 自动晶圆传送系统
- 自动光罩管理系统
- 可编程光罩孔径
- 自动调焦和调平
- 自动晶圆和掩模对准
- 镜头放大倍率控制
- 自动灯光控制
- 图形自动优化设计计算
- 故障显示及报警系统
NSR-2005 I10C将光掩模版与晶圆放入各自的传送单元后,按照预先设定的数据格式和时序自动完成光掩模版与晶圆的交换、对准、聚焦、分步曝光等过程。
设备组成
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1.主机
- ・ 投影镜头
- ・ 照明系统
- ・ 自动调焦和调平系统
- ・ 光罩对准系统
- ・ 晶圆对准系统
- ・ 激光干涉测量系统
- ・ XY工作台
- ・ 举办舞台
- ・ 晶圆传送系统
- ・ 光罩传送系统
- ・ 洁净室
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2.控制柜
- ・ 工作台控制单元
- ・ 激光干涉仪计数器
- ・ 光罩对准控制单元
- ・ 镜头控制单元
- ・ 晶圆传送控制装置
- ・ 动力控制单元
- ・ 光罩搬送控制装置
- ・ 用户界面
- ・ 电脑系统
- ・ CRT(显示器)
- ・ ITV 控制器
硬件及系统功能描述
- NSR-2005 I10C 可以成功定位单层应力为 300 MPa 且翘曲度在 150 µm 以内的晶圆凹口,并能无误差地通过多达 1,000 片的边缘检测测试。
- 它具有一个可以与配方绑定的自动光掩模 ID 识别系统;如果使用了错误的掩模,系统会触发警报以防止错误。
- 该设备符合工厂自动化的 SECS/GEM 标准。
- 经过改造后,该系统可兼容光刻过程中6英寸和8英寸基片的手动和自动装载流程。
工作原理
NSR-2005 I10C 采用步进光刻技术,该技术将光掩模逐级移过晶圆。该工艺从在晶圆表面涂上一层光刻胶开始。使用步进光刻机的光学系统,将光掩模上的所需图案投射到光刻胶上。这种曝光会产生潜像,随后进行显影,从而显示出制造器件所需的复杂图案。
NSR-2005 I10C 采用了先进的光学技术,包括高数值孔径 (NA) 镜头系统,可提高分辨率和图像保真度。此外,使用闭环反馈系统可确保精确控制曝光过程,从而实现卓越的精度。
NSR-2005 I10C 的优势
尼康 NSR-2005 I10C 与其前代产品和竞争型号相比具有多项优势:
- 增强分辨率: 能够打印更小的特征,解决先进工艺节点带来的挑战。
- 提高吞吐量: 针对大批量生产进行了优化,显著缩短了周期时间,为制造商带来了成本效益。
- 卓越的图像质量: 先进的光学系统和精确的对准有助于提高产量并降低缺陷率。
维护和支持
定期维护对于 NSR-2005 I10C 的最佳性能至关重要。建议的做法包括:
- 常规校准: 定期校准光学元件以保持准确性和分辨率。
- 光刻胶管理: 正确处理和储存光刻胶材料以避免污染。
- 系统检查: 定期更新固件和软件以保持运行效率。
尼康提供全面的支持选项,包括技术援助和培训计划,以帮助操作员最大限度地发挥系统的功能。
结论
尼康 NSR-2005 I10C 光刻机体现了尼康致力于推动半导体制造技术发展的承诺。凭借其卓越的规格和多功能应用,它满足了行业不断变化的需求。随着半导体技术的进步,NSR-2005 I10C 仍将是追求更高性能和效率的关键工具。