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Part Number
Description
Photo
77006-R1 vacuum gate
77006-R1 密封板 vacuum gate
PM PARTS For C1 UPGRADED
section 7 : wafer transfer Mech.
6.8 Platform 200mm Opto-Sensor , Metal Cassettes (02-00349-00)
6.7 Platform 100/125/150mm Opto- sensor , Metal Cassettes 02-00333-00
6.5 Cassette Door -02-00075-00
6.3 Loadlock Cooling station - 02-00350-00
6.2 Loadlock Door Operator
6.1 Loadlock Chamber Shell
5.4 Cam Driver Assembly
5.3 Spindle Indexer Assembly
5.2 Spindle shaft assembly
5.1 Spindle Fork Assembly
4.4 Heater Block
4.3 Bottom plate - Heater AC Feedthrus
4.1 TOP PLATE / PROCESS Chamber
3.6 RF Matching Network / RF parts
3.5 Top plate Lift Mechanism
3.4 Chamber Ring Assembly
3.3 RF Distribution Assembly
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