应用于FAB的陶瓷和石英件Spare Parts分类如下:

• 1、FAB机台所需要的各种陶瓷手臂，可以定制;
• 2、NIKON STEPPER 及其他FAB机台所需要的碳化硅材料chuck;
• 3、APPLIED及LAM机台所需要的各种陶瓷RING,陶瓷lift pin;
• 4、E15Z 机台所需要的各种陶瓷柱、陶瓷顶针等陶瓷件;
• 5、NOVELLUS C1/C2 机台所需要的各种陶瓷管，陶瓷fork;
• 6、APPLIED及LAM机台所需要的各种石英件，如Shadowring、cover;
• 7、lam机台所需要的各种石英管件;
• 8、LED和FAB所需要的各种石英架、石英舟;
具体产品信息查询，请进入左边产品信息条下的具体对应机台栏目内查询
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