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Lam / Novellus Spare Parts
Part Number
Description
Photo
15-00701-00
Plate, Fork Retainer, Bottom,150mm
15-00703-00
Top Plate 6
19-00056-00
Feedthru, HI Volt, Alter Detail
15-00578-00
Sleeve, Flange, Feedthru, Ceramic
15-00698-00
Screw, Fork
0040-38825 波纹管
0040-38826 波纹管
17-00094-01
Strap, LF Bias, Alum 6
17-103987-00
RF Strap for 8
15-108307-00
Clamp, RF Strap
15-258837-00
Clamp RF Strap
15-114331-00
Screw (15-114331-00)
15-108174-00
Cup, Screw Cover
15-00401-00
Spindle Shaft
Ferro Spindle Shaft
Ferro Spindle Shaft
15-053394-02
Min Contact Area, Fork, 200mm
15-130746-01
Fork, Finger, Min Contact Area, 200mm
15-00699-02
Fork, Finger, 200mm
15-00699-01
Fork, Finger, 150mm
15-024881-00
Fork, End, Cap
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