AMC及LAM 机台Spare Parts分类如下:

• 1、供应P5000机台Spare Parts 包括chamber、showerhead、ESC、susceptor、shadow ring、cover、等等。
  产品涵盖CVD 全工艺和ETCH全工艺，从Mark2到MXP+腔体;
• 2、供应WJ999/WJ999R/J1000机台N2 shield、belt 、injector、housing 等全系列耗材;
• 3、Endura 5500、Centure5200、DPS等机台的chamber内所需要的spare parts 供应;
• 4、LAM9600、LAM9400、LAM4xxX，设备所需要的spare parts 供应;
• 5、NOVELLUS C1/C2 机台上的FORK 及其他相关的 spare parts 供应。
具体产品信息查询，请进入左边产品信息条下的具体对应机台栏目内查询
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