产品概述：ZYGO 7702
ZYGO 7702 是一款先进的干涉测量系统，专为高级表面轮廓和尺寸测量而设计。它旨在提供无与伦比的精度和效率，使其成为晶圆检测、掩模计量和各种其他应用的首选解决方案。
主要亮点包括：
- ・先进的干涉测量技术，可实现亚纳米级测量精度。
- ・针对实验室和生产环境优化的坚固设计。
- ・灵活的配置可满足特定行业要求。
技术规格
以下是ZYGO 7702的核心技术参数：
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 测量精度 | 亚纳米 |
| 测量范围 | 高达 10 毫米 |
| 系统尺寸 | 600 毫米 x 400 毫米 x 300 毫米 |
| 重量 | 5.5 千克 |
| 干涉技术 | 相移干涉法 |
| 数据采集速度 | 高达 1 kHz |
| 兼容材料 | 硅、玻璃、陶瓷和金属 |
这些技术能力确保系统满足严格的行业需求，同时提供跨材料类型的灵活性。
主要特点和功能亮点
ZYGO 7702 凭借多项独特功能脱颖而出：
1. 高分辨率干涉测量法
ZYGO 7702 配备专利干涉测量引擎，可实现亚纳米级表面高度测量精度，确保在苛刻的应用中实现最佳性能。
2. 实时表面轮廓分析
通过高速数据采集，系统可提供实时反馈，从而实现在生产过程中快速决策。
3. 高级软件集成
用户友好的界面与 ZYGO 专有的 MetroPro® 软件无缝集成，提供一套用于全面数据解释的分析工具。
4. 自动化就绪设计
该系统支持全自动化，包括机器人晶圆处理，使其成为高吞吐量生产环境的理想选择。
应用和行业
ZYGO 7702 用途广泛，可满足多个行业的需求：
| 行业 | 应用 |
|---|---|
| 半导体 | 晶圆和掩模检查、重叠测量 |
| 光学制造 | 镜头表面轮廓分析、薄膜厚度 |
| 精密工程 | 组件对准、缺陷检测 |
| 纳米技术 | 纳米级制造质量保证 |
这种适应性确保 ZYGO 7702 仍然是需要精确计量的各个领域的关键工具。
竞争优势
ZYGO 7702 在几个关键领域胜过其竞争对手：
- 1. 卓越的精度：利用先进的干涉技术，它比竞争系统实现了更高的精度。
- 2. 增强吞吐量：系统的快速数据采集缩短了检查周期时间，最大限度地提高了生产效率。
- 3. 可定制性：模块化配置允许用户调整系统以适应特定任务，提供无与伦比的多功能性。
- 4. 耐用性和可靠性：ZYGO 7702 采用坚固的材料制成，经过优化，可在具有挑战性的环境中长期使用。
总结
ZYGO 7702 代表了满足高精度计量需求的尖端解决方案，在精度、速度和适应性方面树立了新的标杆。凭借其先进的功能和强大的性能，它对于寻求优化生产质量和效率的决策者来说是一个宝贵的工具。
要了解有关 ZYGO 7702 的更多信息，请立即联系我们的技术支持团队或销售代表。访问我们的网站，浏览详细的技术文档并请求产品演示。让 ZYGO 7702 改变您的计量流程并推动您在半导体行业的成功！
