1. 简介
在半导体制造、航空航天、制药和工业自动化等精密行业中，准确的压力测量对于维持工艺稳定性和效率至关重要。MKS 626、627 和 628 系列压力传感器广泛用于真空系统和工业应用中的高精度压力监测和控制。这些传感器以其出色的精度、长期稳定性和对恶劣操作环境的抵抗力而闻名。
该系列中的每个型号都经过精心设计，以满足特定的压力测量要求，提供一系列功能，例如绝对压力、表压和差压传感、温度补偿和数字输出功能。本文对这些传感器的设计、工作原理、应用和优点进行了全面的分析，并对其未来发展进行了展望。
2. MKS 626、627、628 系列概述
MKS 626、627 和 628 系列由高性能压力传感器组成，专为在苛刻的应用中实现精确且可重复的压力测量而设计。该系列中的每个型号都具有针对不同测量环境量身定制的特定性能特征：
| 型号 | 压力类型 | 测量范围 | 应用重点 |
|---|---|---|---|
| MKS 626 | 绝对 &测量表 | 10⁻⁴ Torr 至 1000 Torr | 半导体，真空系统 |
| MKS 627 | 绝对与压力表 | 10⁻³ Torr 至 1000 Torr | 过程控制、研究实验室 |
| MKS 628 | 差分 | 0.1 Torr 至 1000 Torr | 工业自动化、洁净室应用 |
关键设计考虑因素：
- 结构紧凑坚固，可在工业环境中可靠运行。
- 高纯度材料，确保半导体工厂无污染测量。
- 数字和模拟输出选项，可无缝集成到自动化系统中。
- 最小漂移和高重复性，确保长期稳定性。
MKS 626 和 627 型号广泛应用于真空应用，而 MKS 628 则专为洁净室和受控环境中的精确压差监测而设计。
3.工作原理和压力测量技术
MKS 626、627 和 628 系列压力传感器采用先进的电容式和压阻式传感技术，在压力测量中实现高精度和稳定性。
关键测量技术：
-
电容式传感：
- 用于高精度绝对压力和差压传感器。
- 通过检测压力使隔膜变形时电容的变化来工作。
- 提供高灵敏度和低滞后，使其成为真空和低压测量的理想选择。
-
压阻式传感：
- 利用硅基应变计根据压力改变电阻。
- 提供快速响应时间和出色的线性度，使其适用于工业和自动化应用。
-
信号处理和输出：
- 传感器具有温度补偿功能，可最大限度地减少测量漂移。
- 数字信号处理 (DSP) 可提高准确性并降低读数中的噪音。
- 提供模拟 (0-10V、4-20mA) 和数字 (RS-232、RS-485) 输出，可灵活集成。
这些技术使 MKS 压力传感器 能够提供稳定、可重复且抗干扰的测量，即使在动态操作条件下也是如此。
4.主要特点和性能参数
MKS 626、627 和 628 系列旨在在苛刻的环境下提供卓越的性能。以下是它们的一些主要功能和性能基准：
主要功能：
✅ 高精度：测量精度高达满量程的±0.15%。
✅ 宽压力范围：支持超低真空（10⁻⁴ Torr）至高压应用（1000 Torr）。
✅ 温度补偿：内置算法确保温度波动导致的漂移最小。
✅ 耐腐蚀：由 316L 不锈钢和 Inconel 制成，在恶劣环境下经久耐用。
✅ 多种输出选项：兼容 模拟（4-20mA、0-10V）和数字（RS-232、RS-485、EtherCAT）接口。
✅ 快速响应时间：能够实现 毫秒级响应率，实现实时过程调整。
性能基准：
| 参数 | MKS 626 | MKS 627 | MKS 628 |
|---|---|---|---|
| 精度 | ±0.15% FS | ±0.2% FS | ±0.25% FS |
| 响应时间 | <10 ms | <12 ms | <15 ms |
| 温度系数 | ±0.01% FS/°C | ±0.015% FS/°C | ±0.02% FS/°C |
| 输出选项 | 模拟和数字 | 模拟和数字 | 仅数字 |
| 压力类型 | 绝对和表压 | 绝对和表压 | 差分 |
这些传感器结合了高精度、坚固耐用和实时输出能力，对于现代过程控制应用至关重要。
5. MKS 626、627 和 628 系列压力传感器的应用
MKS 626、627 和 628 系列压力传感器用于各种高精度行业，其中精确的压力监控对于工艺稳定性、效率和质量控制至关重要。以下是一些关键应用领域：
5.1 半导体制造
在半导体制造中，保持真空室内的精确压力水平对于晶圆加工至关重要。这些传感器用于：
- 蚀刻和沉积系统：确保等离子蚀刻和化学气相沉积 (CVD) 工艺期间的最佳腔室压力。
- 光刻设备：调节真空压力以避免光刻中的污染和缺陷。
- 泄漏检测和真空监测：保持洁净室真空完整性并检测工艺室中的泄漏。
5.2 工业真空系统
制药、冶金和食品加工等行业使用真空系统进行干燥、涂层和包装。 MKS 压力传感器可帮助：
- 优化真空泵性能。
- 保持真空炉和冷冻干燥机内的压力恒定。
- 提高易腐货物真空包装的效率。
5.3 航空航天和国防
- 海拔模拟：用于测试室，模拟航空电子设备和航空航天部件的高海拔条件。
- 燃料系统监控：确保航天器和飞机燃料输送系统中的精确压力控制。
5.4 研发实验室
- 精密实验：用于需要受控压力环境的高精度物理、材料科学和化学研究。
- 环境室：为产品测试和科学研究保持精确的大气条件。
5.5 洁净室和制药行业
- 压差监控：MKS 628 系列广泛用于洁净室环境，以确保适当的气流控制。
- 无菌处理设备：控制灭菌器和无菌处理系统中的压力。
这些应用凸显了 MKS 传感器在高精度行业中的多功能性和可靠性。
6.使用 MKS 626、627 和 628 系列压力传感器的优势
MKS 压力传感器 与其他压力测量解决方案相比具有多项竞争优势：
6.1 高精度和稳定性
- 提供高达满量程±0.15%的精度。
- 出色的重复性和最小的漂移，确保连续运行的长期稳定性。
6.2 宽压力测量范围
- 能够测量从10⁻⁴ Torr（超高真空）到 1000 Torr的压力。
- 支持绝对压力、表压和差压测量，使其适用于不同的系统。
6.3 适用于恶劣环境的坚固结构
- 采用不锈钢和耐腐蚀材料制造，经久耐用。
- 设计可承受高温度、压力波动和化学暴露。。
6.4 无缝系统集成
- 提供模拟（4-20mA、0-10V）和数字（RS-232、RS-485、EtherCAT）接口。
- 轻松与PLC、SCADA 和工业自动化系统集成。
6.5 快速响应时间
- 响应时间快至<10ms，这些传感器允许在动态工业过程中进行实时调整。
这些优势使 MKS 626、627 和 628 系列成为行业用于精密压力测量的基准。
7. MKS 626、627 和 628 系列与竞争型号的比较
为了更清楚地了解 MKS 传感器 的优势，下表将其与 INFICON 和 Baratron 的竞争型号进行了比较：
| 特点 | MKS 626 | MKS 627 | MKS 628 | INFICON PSG500 | Baratron 122A |
|---|---|---|---|---|---|
| 精度 | ±0.15% FS | ±0.2% FS | ±0.25% FS | ±0.5% FS | ±0.25% FS |
| 压力类型 | 绝对压力与表压 | 绝对压力与表压 | 差分压力 | 绝对压力与表压 | 绝对压力与表压 |
| 响应时间 | <10ms | <12ms | <15ms | ~30ms | ~20ms |
| 输出选项 | 模拟与数字 | 模拟和数字 | 仅数字 | 模拟 | 模拟 |
| 材料 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 | 铝 | 不锈钢 |
MKS系列在精度、响应时间和集成能力方面优于竞争对手，使其成为半导体和精密工业的首选。
8.结论
MKS 626、627 和 628 系列压力传感器是当今最可靠、最准确的压力测量解决方案之一。其高精度、坚固设计和无缝系统集成使其成为半导体制造、真空系统、航空航天、洁净室和工业自动化不可或缺的产品。
通过利用尖端传感技术并提供卓越的稳定性，这些传感器可帮助行业实现更好的过程控制、减少停机时间和提高产品质量。随着技术的发展，MKS 继续引领该领域，通过集成智能功能和提高测量能力来满足下一代制造业的需求。
对于需要可靠、高性能压力测量的行业，MKS 626、627 和 628 系列仍然是顶级选择。
