1. 探针卡维修简介
在半导体行业中，探针卡在晶圆级测试中起着至关重要的作用，它是测试仪与晶圆上集成电路 (IC) 之间的接口。作为物理接触的第一点，探针卡必须保持高精度和机械完整性，以确保准确的信号传输和良率保证。
随着时间的推移，由于反复的机械接触和热循环，探针卡会出现磨损和性能下降。这可能导致接触不良、信号丢失，甚至晶圆损坏。精心执行的探针卡维修流程可以恢复探针卡的功能，延长其使用寿命并保持测试性能，而无需完全更换。
2. 需要探针卡维修的常见问题
在高产量半导体测试环境中，探针卡损坏是不可避免的。及时准确的维修对于避免良率损失或测试数据不准确至关重要。以下是一些最常见的问题：
典型问题：
| 问题类型 | 描述 |
|---|---|
| 探针尖端磨损 | 由于反复接触晶圆，探针会变钝或尖端缩短。 |
| 探针烧坏 | 测试过程中的电气过应力会烧坏探针尖端。 |
| 探针高度变化 | 探针尖端高度不均匀或不稳定会影响电接触可靠性。 |
| 探针尖端错位 | 错位会导致探针标记偏离目标焊盘位置。 |
| 多点校准漂移 | 步长可能会发生变化，尤其是在高密度多点探针卡中。 |
如果一个或多个探针低于修复阈值或出现烧损迹象，有时需要重置探针阵列——此过程需要拆卸并重新连接间距精确的探针。
3. 我们的探针卡维修流程
在 JUNR Semiconductor，我们遵循系统化和数据驱动的探针卡维修方法。我们的维修服务不仅旨在恢复功能，还旨在确保维修后电气性能的一致性。流程如下：
分步维修工作流程：
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3.1 视觉与功能检查
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使用显微镜和测试设备对探针卡状况进行初步检查。
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识别损坏、弯曲或缺失的探针。
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3.2 修复可行性评估
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测量当前针高并与原始规格进行比较。
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分析烧伤痕迹或严重探针变形。
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确定是否需要重新装针、重新对准或完全重新配置。
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3.3 客户咨询（如适用）
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如有如果针头长度低于最小维修长度或存在持续烧伤，我们会联系客户讨论返工方案。
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对于电路板复位情况，需要客户书面确认后才能继续操作。
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3.4 精准维修执行
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机械调整探针尖端高度和平面度。
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根据需要重新抛光或更换探针尖端。
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多点阶跃校准的特殊处理。
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3.5 清洁和表面处理
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去除探针表面的污染物，以确保最佳电接触。
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3.6 最终测试和质量检查
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进行电气连续性和电阻测试，以确认功能正常。
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进行光学检测，以验证几何对准度。
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4. 维修所需客户提供的信息
为了准确有效地进行探针卡维修，客户必须提供有关该卡的详细技术数据。这可确保维修后的探针卡与原始晶圆布局和测试参数完美对齐。
所需客户数据：
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焊盘坐标：
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详细的焊盘布局文件（通常为 .txt 或 CAD 格式），包含探测点的 X-Y 坐标。
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原始探针尖端尺寸：
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探针标记尺寸和初始针长，用于评估磨损程度并在维修期间保持均匀性。
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多站点配置：
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对于多 DUT（被测器件）探针卡，客户必须提供步长，包括每个站点的距离和划线通道尺寸。
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损坏声明：
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如果发现探针烧损或断裂，应报告其程度以供评估。
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如果探针尖端短于可修复标准，我们将建议重置。
5. 维修报告和质量控制
在 JUNR，我们相信透明且以数据为导向的探针卡维修方法对于赢得客户的信任至关重要。因此，每张维修好的探针卡都附有一份全面的维修报告，概述所进行的工作以及维修前后的量化结果。
我们的维修报告包含的内容：
| 报告部分 | 详细信息 |
|---|---|
| 维修前探针尖端测量 | 每个探针的针长、偏差和状况 |
| 维修后探针尖端数据 | 调整后的针长和平整度结果 |
| 烧毁或无法维修的探针 | 损坏探针的数量和位置 |
| 维修方法 | 所用程序的描述（例如，重新装尖端、重新对准、重置） |
| 最终电气测试结果 | 接触电阻和连续性测试结果 |
| 目视检查摘要 | 高清图片展示维修前后状况 |
每份报告在发布前均由高级技术人员进行内部审核。如维修后仍存在任何不一致之处，将立即免费返工。
严格的质量保证协议：
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校准的检测和测量工具
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双重验证（光学 + 电气）
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符合 ISO 标准的工艺控制文档
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返厂前进行 100% 功能测试
我们深知探针卡的可靠性直接影响晶圆良率。这就是为什么我们的工厂从不妥协质量。
6. 为什么选择 JUNR 进行探针卡维修
选择合适的探针卡维护合作伙伴不仅关乎技术能力，还关乎信任、周转和成本效益。全球半导体客户信赖 JUNR 的原因如下：
✅ 技术专长
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数十年探针卡组装和诊断经验
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熟悉主要探针卡类型（悬臂式、垂直式、基于 MEMS 的）
✅ 综合能力
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维修、更换探针头、重新校准、清洁、重新配置
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支持多站点和高密度应用
✅ 快速周转
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标准维修周期在3-5个工作日
内完成 -
可根据要求提供优先加急服务
✅ 成本效益
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比购买新探针卡成本显著降低
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延长现有测试资产的使用寿命
✅ 清晰的沟通
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透明的维修方案和实时状态更新
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任何重大结构变更均需获得客户批准
7. 联系我们，获取专业的探针卡维修服务
如果您遇到良率下降、探针点失效或怀疑探针卡可能需要检查的情况，请不要等到它成为瓶颈时才采取行动。在 JUNR，我们为各种类型的探针卡提供快速、可靠且技术精湛的维修服务。
无论是常规调整还是复杂的多站点重新配置，我们经验丰富的技术人员都随时准备满足您的需求。
设备、配件和服务咨询
联系人：单树勇
手机： 13506193015
电子邮件： shansy@junr.com.cn
