一、引言
探针台是一个精密测试平台,用于在芯片级(die level)对半导体晶圆进行电气测量。这些探针台在最终封装前的晶圆级测试中至关重要,广泛应用于晶圆代工厂、集成电路测试实验室、研发部门和故障分析 (FA) 机构。
随着半导体制造对精度和成本效益的要求不断提高,许多机构选择二手探针台作为切实可行的解决方案。与全新系统相比,二手探针台能够以显著更低的资本投入提供类似的功能——尤其是在从值得信赖的供应商处采购并经过适当翻新的情况下。
本文概述了探针台的技术和商业特性,特别关注二手系统以及影响其定价、配置和应用适用性的因素。
II. 什么是探针台?
探针台是半导体晶圆和测量仪器之间的物理接口。其主要功能是将微操作电探针定位到晶圆上的精确位置,以评估每个芯片的电特性。
III.半导体测试中常用的探针台型号
选择合适的探针台是晶圆级电气测试的关键步骤。全球知名制造商提供各种型号的探针台,适用于从高级射频测试到基本参数测量等不同的应用。以下概述了一些广泛采用的探针台型号,这些型号通常用于代工厂、研发实验室和集成电路测试设施。
| 型号 | 制造商 | 晶圆尺寸 | 主要特性 | 典型应用 |
|---|---|---|---|---|
| Cascade Summit 12000 | FormFactor (Cascade) | 6英寸 / 8英寸 / 12英寸 | 高稳定性平台、热卡盘选项、半自动化或全自动 | 射频/毫米波、故障分析、可靠性 |
| Cascade M150 / M300 | FormFactor (Cascade) | 6英寸 / 8英寸 | 手动操作,显微镜集成,灵活的臂布局 | 器件特性分析、教育、故障诊断 |
| TEL P8 / P12XL | 东京电子 (TEL) | 8英寸 / 12英寸 | 全自动、高通量晶圆探测,高级卡盘选项 | 晶圆分类(CP 测试),在线生产 |
| Electroglas 4080 / 4090 | Electroglas | 6英寸 / 8英寸 | 半自动,集成探测器控制软件 | 工程测试,传统设备测试 |
| MPI TS200-SE / TS300-SE | MPI Corporation | 8英寸 / 12英寸 | 高分辨率探测、热性能和射频升级选项 | 混合信号、射频、模拟特性分析 |
| Accretech UF200 / UF3000 | Tokyo Seimitsu | 8英寸 / 12英寸 | 生产级探测、自动晶圆处理、ATE集成 | 大批量晶圆分选 |
| Signatone S-1160 | Signatone | 6英寸 | 紧凑型入门级手动探针台,模块化平台 | 研究、教育、低频测试 |
| Wentworth MP2000 | Wentworth Labs | 6英寸 / 8英寸 | 高精度平台移动,兼容暗箱 | 故障分析,探针卡验证 |
选择说明:
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Cascade 和 MPI 平台在射频和高精度环境中广受欢迎
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TEL 和 Accretech 在量产 CP 测试平台中占据主导地位
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Electroglas 系统是中等批量测试的经济实惠的选择,在二级市场上广泛可用
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Signatone 和 Wentworth 型号适用于学术或入门级应用
IV. 影响二手探针台价格的因素
二手探针台的价格取决于多种技术、运营和商业因素。了解这些变量对于做出明智的购买决策至关重要。
1. 品牌和型号
一些制造商拥有更高的市场占有率和转售价值。例如,Cascade Microtech、MPI、Electroglas 和 TEL(东京电子) 因其强大的工程设计和精度而受到认可。
2.系统类型和功能集
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手动系统通常最便宜
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由于运动控制和自动化,半自动系统的成本更高
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全自动系统价格更高,但效率无与伦比
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诸如热卡盘系统、射频探头集成和暗箱外壳等附加功能可提高整体价值
3.翻新和状况
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原厂系统价格更便宜,但风险更高
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部分翻新系统包含一些经过验证的组件
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完全翻新系统经过清洁、校准和测试,符合 OEM 级标准,并且通常提供有限保修
4. 配件和包含内容
价格受是否包含关键组件的影响,例如:
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高分辨率光学显微镜
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电动或手动XYZ微定位器
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防震台
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探测臂或射频机械手
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用于自动化的PC接口软件
5. 使用年限和历史
使用周期较长的旧系统可能更实惠,但可能需要额外的维护。来自小批量实验室的轻度使用系统通常能保持更好的机械稳定性和光学质量。
五、购买二手探针台的优势
对于半导体晶圆厂、测试实验室或研发团队来说,购买二手探针台可能是一项战略决策,旨在平衡技术能力和成本效益。如果从可靠的供应商处采购并经过彻底检查或翻新,二手系统可以提供与新设备相当的性能。
主要优势:
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1. 显著降低成本
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二手系统通常比新设备节省40-70%的成本。
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能够在有限的预算内购置更高规格的型号。
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2. 更短的交货时间
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新系统可能需要数月的交货时间。
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二手设备,尤其是有库存的,通常可以在数周内交付并部署。
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3.可定制配置
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二手探针台可升级或改造(例如,添加热卡盘、射频探针)。
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可根据具体应用需求定制功能。
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4. 可持续性和资源效率
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延长现有设备的使用寿命有助于更环保的半导体制造。
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减少电子垃圾和资本资源消耗。
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5.支持传统工艺
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某些成熟节点或特殊工艺(MEMS、功率半导体)所需的设备可能不再有新设备。
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二手系统可以填补这一空白。
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六、购买二手探针台时需要注意的事项
选择合适的二手探针台需要进行技术尽职调查,以确保可靠性、兼容性和长期可用性。以下是关键的评估标准:
✅ 机械和光学完整性
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检查卡盘运动是否平稳以及平台是否平整
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检查显微镜光学元件是否有划痕、分辨率和焦距控制
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评估机械手和 XYZ 平台的重复性和反向间隙
✅ 系统配置
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确认晶圆尺寸支持(例如,4 英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸)
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确保卡盘类型与应用相匹配(真空、热、三轴)
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验证探测臂与您的测量的兼容性仪器
✅ 洁净室兼容性
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确定系统是否通过 ISO 认证或与洁净室操作兼容
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审查过滤和外壳选项(适用于暗箱或对 EMI 敏感的工作)
✅ 售后支持
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供应商是否提供文档、软件、手册或培训?
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是否提供保修或现场安装支持?
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该型号是否仍提供备件和耗材?
七、JUNR 在二手探针台方面的专业知识
在无锡君睿科技有限公司,我们了解客户在晶圆级测试中寻求可靠、经济高效的解决方案的独特需求。我们在半导体设备领域拥有超过 15 年的经验,包括采购、翻新和支持先进的探针台。
我们提供的服务:
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提供来自顶级品牌(Cascade、TEL、MPI、Electroglas 等)的大量现货二手探针台。
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翻新服务,包括机械重新校准、光学清洁和电气测试
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现场支持,包括安装、校准和培训
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定制化(例如,添加热卡盘、升级显微镜、更换机械手)
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全球采购网络,确保高可用性以及灵活的供应链
无论您是在测试高频射频集成电路 (RF IC)、表征新型功率器件,还是扩展您的 CP 测试线,JUNR 都能帮助您找到最符合您目标的二手设备。
VIII.联系我们了解供货情况和价格
由于配置多样性、库存快速变化以及特定应用需求,我们不公布二手探针台的固定价格。
相反,我们鼓励感兴趣的客户:
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直接联系我们的销售和技术团队
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分享您的测试要求、晶圆尺寸和所需的探针台类型
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索取当前供货情况、照片、系统规格和定制报价




