HP 5517A、5517B、5517C、5517CL、5517D、5517DL、5517EL、5517FL、5517GL激光干涉仪

1. HP 5517 干涉仪系列简介

在精密计量和运动控制系统中，激光干涉仪是实现平台定位亚微米精度的重要工具。 HP 5517系列在该领域占据着举足轻重的地位。数十年来，这些双频氦氖干涉仪广泛应用于半导体、光学和精密工程系统。

从早期的5517A到先进的5517GL，该系列的每个型号都在频率稳定性、线速度和测量能力方面进行了逐步增强。对于精密运动平台的用户来说，HP 5517系列代表着成熟可靠的解决方案。

在JunR Technology，我们翻新并供应HP 5517系列的全系列产品。无论您需要5517A、5517CL还是5517GL，客户都可以向我们寻求专业的调校、校准和支持。

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2. 演进与型号差异

HP 5517 系列始终保持竞争力的原因之一是其各个型号之间谨慎的渐进式演进，每个型号的用例略有不同。以下是该系列发展历程的简要介绍：

• 5517A

  基准型号。它提供可靠的双频输出，具有适度的参考频率稳定性和线速度，适用于标准精度系统。

• 5517B

  增强频率稳定性并支持更高的线速度。在平台运动需求增加时非常有用。

• 5517C

  进一步提升输出频率和测量稳定性。提供多种光束直径选项（3 毫米、6 毫米、9 毫米），方便灵活地进行对准设计。

• 5517CL

  紧凑型——核心性能与 C 型号相同，但头部更紧凑，适合空间或重量受限的情况。

• 5517D / DL

  这些型号进一步扩展了频率范围，可实现更高的速度和更苛刻的环境。 DL 版本旨在实现更低的噪声和更清晰的信号稳定性。

• 5517EL / FL / GL

  专为高端计量而设计：

  • EL 强调超高频率稳定性。

  • FL 提供具有更好线性度的细线测量。

  • GL 是顶级版本，融合了该系列中最佳的稳定性、线性度和速度性能。

每个增量型号都会在一个或多个参数上进行改进——频率范围、允许的线速度、噪声性能或输出光束直径选项。
这种灵活性使 5517 系列能够适用于广泛的精密测量需求。

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3. 技术规格和性能指标

为了了解每个型号的适用范围，查看比较规格表会有所帮助。以下是使用公开数据（由 JunR 的工程师提炼和整理）整理的参考数据。

型号	最大线速度 (mm/s)	参考频率 (MHz)	最小输出功率 (μW)	预热时间 (分钟)	光束直径 (mm)
5517A	411	1.5 – 2.0	> 180	< 10	6
5517B	538	1.9 – 2.4	> 120	90	6
5517C	696	2.4 – 3.0	> 180	90	3, 6, 9
5517CL	—	2.4 – 3.0	> 180	~45 – 90*	6
5517D	1012	3.4 – 4.0	> 180	90	6, 9
5517DL	1329	≥ 4.4	> 180	~45	6, 9
5517EL	1740	≥ 5.8	> 65	~45	6
5517FL	1361	≥ 7.0	> 65	~45	6, 9
5517GL	1297	≥ 4.4	> 168	~45	6

4. HP 5517 系列的典型应用

HP 5517 系列已成为半导体和工业领域众多高精度系统的标准组件。
以下是这些干涉仪发挥关键作用的几个代表性用例：

4.1 半导体光刻和晶圆台

在步进机和扫描仪系统中，亚微米精度对于晶圆的对准和定位至关重要。
HP 5517 的双频干涉测量技术可实现纳米级位移监测。
常见的 OEM 集成包括：

• 尼康 和 佳能 光刻步进机

• TSK / ACCRETECH 探测和晶圆检测站

• KLA-Tencor 和 Hitachi 计量平台

4.2 精密机床和坐标测量机 (CMM)

对于超精密加工或 CMM 校准，稳定的激光干涉仪可提供线性刻度的可追溯性。
用户通常将 HP 5517 测头与 Renishaw 或 Agilent 测量电子设备集成，以进行轴校准。

4.3 研究和计量实验室

大学和国家实验室经常在光路长度稳定、振动分析和干涉折射实验中使用 HP 5517 系列。

5.为何选择 JunR Technology 为 HP 5517 系统提供服务

选择精密光学计量组件供应商不仅仅考虑价格，还需要考虑信任、专业知识和可持续性。
JunR Technology 已将自己定位为少数能够处理整个 HP 5517 产品线的专业分销商和服务提供商之一。

我们的优势：

1. 全面的库存
   我们备有大多数 HP 5517 型号的库存，从入门级 5517A 到高端 5517GL 型号。

2. 工厂级翻新标准
   所有设备均由经验丰富的、接受过光学校准培训的工程师进行修复，确保长期稳定性。

3. 可追溯校准
   每台干涉仪均附带一份可追溯至国家标准的认证校准报告。

4. 灵活的服务选项

   • 以旧换新，更换有缺陷或报废产品单位

   • 快速更换程序，最大程度减少生产停机时间

   • 系统集成或改造升级的技术咨询

5. 全球客户支持
   我们的客户包括遍布亚洲、欧洲和北美的半导体晶圆厂、计量实验室和学术机构。

结论

HP 5517 激光干涉仪系列仍然是全球最受推崇的精密测量解决方案之一。
从入门级 5517A 到高级 5517GL，每款型号都体现了数十年光学工程的卓越。
通过专业的翻新和校准，JunR Technology 确保这些传奇的系统继续为下一代半导体和计量应用提供纳米级精度。