UF3000、UF3000EX 、UF200、UF200SA、UF200A、UF200S、UF190、UF90A全自动探针测试台
---- UF200 UF3000全系列探针台的功能介绍
探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备，与测试仪连接后，能自动完成对集成电路及各种晶体管芯的电参数测试及功能测试。UF200、UF200SA、UF200A、UF200S、UF190、UF90A全自动探针测试台是集精密机械、计算机控制、伺服控制、光学等多种技术融为一体的全自动探针测试台。
目前，国内的探针测试台以手动和半自动为主，其控制系统结构简单，容易实现，成本低，但存在定位精度低，稳定性差等问题。随着半导体器件和集成电路工艺制造技术的飞速发展，探针测试台的应用除IC制造领域外已扩展到分立器件、光电子等领域。并且随着国内半导体技术的飞速发展，原先的以步进电机的开环控制为主的半自动探针测试台已远远不能满足集成电路产业快速发展的要求。
相对于半自动探针测试台来说，UF200、UF200SA、UF200A、UF200S、UF190、UF90A全自动探针测试台增加了自动上下片、CCD自动对准和高低温测试等功能，并且增加了内置和外置打印机接口，能够对测试数据进行打印输出。UF200系列全自动探针测试台的先进技术主要表现在x、Y工作台的全闭环自动控制、CCD自动图像对准、自动上下片等方面。
我公司提供的工作UF200\UF3000全系列探针台使用全闭环控制系统，该控制系统具有调速范围宽、位移精度高、稳定性好、动态响应快等特点。UF200、UF3000全系列探针台控制系统在探针测试台自动测试过程中对运行情况进行实时检测，因此中间环节及外界扰动影响小。
早期研制的探针测试台主要是针对Ic电路和分立器件的分析与测试。随着半导体的线宽越来越窄、硅片尺寸越来越大、集成的功能越来越多、产品速度越来越快、封装尺寸越来越小、产品测试变得越来越重要，产品测试已经从传统意义上的中间测试和成品测试扩展到分立器件，光电子、霍尔元件等领域。也随着对高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低价格的电子产品的需求日益增长，这就要求在单个芯片中集成更多的功能，并进一步缩小尺寸，所以大片径和高速度测试将是今后探针测试台发展的主要趋势。
根据国内外半导体专用设备的技术发展，可以清楚地看到，像我们提供的UF3000、UF3000EX、UF200、UF200SA、UF200A、UF200S、UF190、UF90A全自动探针测试台这样的大行程工作台运行的高速度、高精度控制技术、无接触测试、多芯片测试、多探针测试技术、晶片传输与对准技术、免维护测试技术及特殊器件测试如高低温测试、高频测试等将成为探针测试台发展的主要方向。
