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型号概述： 0020-30314
0020-30314是一款专为半导体制造中使用的6 英寸金属蚀刻室设计的底座。该部件由应用材料公司 (AMAT)生产，是蚀刻工艺不可或缺的一部分，可确保晶圆制造过程中的高精度和稳定性。其坚固的设计和材料成分使其适用于先进的加工环境。
| 参数名称 | 描述 | 备注 |
|---|---|---|
| 制造商 | 应用材料公司 (AMAT) | 领先的半导体设备供应商 |
| 零件编号 | 0020-30314 | 载台 |
| 描述 | 基座，6 英寸金属蚀刻腔 | 支持150mm晶圆 |
| 材料 | 铝/聚合物/WSI | 适用于高压环境 |
