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0040-09004 波纹管是专为 P5000 半导体制造系统 设计的关键部件。它在确保晶圆加工过程中的真空完整性和灵活性方面起着至关重要的作用。这款波纹管采用优质材料制成，可在苛刻的蚀刻和沉积环境中提供长期性能和可靠性。
规格表
| 参数 | 详细信息 | 备注 |
|---|---|---|
| 零件名称 | 波纹管 | |
| 型号 | 0040-09004 | |
| 兼容设备 | P5000 系统 | 应用材料 (AMAT) 工具 |
| 材料 | 高级不锈钢或合金 | 耐腐蚀和耐用 |
| 功能 | 真空密封和灵活性支持 | 确保工艺稳定性 |
| 应用 | 晶圆加工中的真空系统 | 支持蚀刻和沉积 |
| 工艺类型 | 蚀刻、沉积 | 半导体制造 |
主要特点
卓越的真空完整性
保持稳定的真空密封，这对于高精度晶圆加工至关重要。灵活的设计
允许移动和调整，而不会影响真空稳定性或系统可靠性。坚固的材料结构
采用耐腐蚀材料制成，可承受恶劣的化学和热环境。无缝兼容性
针对应用材料的 P5000 系统进行了优化，确保完美贴合和轻松安装。
应用
兼容设备
- 应用材料 P5000 系统
- 真空蚀刻和沉积工具
主要使用场景
- 在等离子蚀刻系统中保持真空完整性
- 支持 CVD（化学气相沉积）工艺中的柔性连接
产品优势
- 高耐用性：耐磨损、耐腐蚀、耐高温，确保使用寿命长。
- 精密工程：设计用于无缝集成到 P5000 系统中，以最大限度地减少停机时间。
- 可靠的性能：提供一致的支持和真空密封，以提高晶圆处理效率。
