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晶圆盒
C1 全系列配件
Part Number
Description
Photo
15-00027-02
Guide nozzle adjuster
15-00229-00
Nut nxt, alum 1/2-20
15-00309-00 喷头固定螺丝柱
15-00475-00 喷头陶瓷法兰 ceramic flange
15-00475-00 喷头陶瓷法兰
15-00475-00 喷头陶瓷法兰 ceramic flange
15-00475-00 喷头陶瓷法兰
15-00475-00 喷头陶瓷法兰 ceramic flange
15-00475-00 喷头陶瓷法兰
螺丝 P/N 15-00399-04
15-00043-02
Ceramic screw rod
150069800
NICKEL Screw
200021200
Aluminum nut
150004302
Ceramic screw Rod
150039905
Nickel screw
150030900
Nickel screw
170014800
Leaf spring
150039904
Nickel screw
WASHER NICKEL
15-00372-00
WASHER NICKEL
15-00372-00
15-00371-00
NUT HEATER STRAP
15-00311-00
NICKEL CAP NUT
15-00385-00
NICKEL 10-32 HEX NUT
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