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Lam / Novellus Spare Parts
Part Number
Description
Photo
37-221-003
Upper Electrode
NA
P2304 Top Cover
715-011746-161
Wafer Clamp Ring
715-018991-206
Lower Electrode
39-741-009
Tegal Lower Electrode 6
39-741-010
Tegal Lower Electrode 5
715-011531-008
4421 Electrode
715-011531-015
4420 Electrode
718-094523-281
8
39-741-011
Lower Electrode
37-221-001
Upper Electrode
715-007469-102
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715-007469-002
Lam 490 Lower Electrode
853-090260-004
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715-008721-001
Lam 490 Upper Electrode
718-094756-061
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